ОБЩИЕ ВОПРОСЫ
ArticleName
Сравнительные характеристики однослойных и двухслойных тензопреобразователей давления на основе структур кремний–на–сапфире
ArticleAuthors
А. А. Устинов, Ю. С. Нагорнов, А. И. Козлов
ArticleAuthorsData
ЗАО МИДАУС
А. А. Устинов, А. И. Козлов
ГОУ ВПО «Ульяновский государственный университет»
Ю. С. Нагорнов
Abstract
Рассмотрены сравнительные характеристики полупроводниковых тензорезисторных преобразователей давления на основе структур кремний−на−сапфире. Исследованы два вида конструкции тензорезисторных преобразователей: с однослойным упругим элементом на керамическом основании и с двухслойным упругим элементом из сапфира и металла. Показано, что однослойные тензорезисторные преобразователи обладают лучшими характеристиками, чем двухслойные, но они имеют ограниченное применение по диапазонам измеряемого давления.
keywords
Датчик давления, тензопреобразователь давления, структура кремний−на−сапфире
Language of full-text
russian
Full content