• Acquire
Hide↑
Journals →  Материалы электронной техники →  2012 →  #1 →  Back

ОБЩИЕ ВОПРОСЫ
ArticleName Сравнительные характеристики однослойных и двухслойных тензопреобразователей давления на основе структур кремний–на–сапфире
ArticleAuthor А. А. Устинов, Ю. С. Нагорнов, А. И. Козлов
ArticleAuthorData

ЗАО МИДАУС

А. А. Устинов, А. И. Козлов


ГОУ ВПО «Ульяновский государственный университет»

Ю. С. Нагорнов
Abstract

Рассмотрены сравнительные характеристики полупроводниковых тензорезисторных преобразователей давления на основе структур кремний−на−сапфире. Исследованы два вида конструкции тензорезисторных преобразователей: с однослойным упругим элементом на керамическом основании и с двухслойным упругим элементом из сапфира и металла. Показано, что однослойные тензорезисторные преобразователи обладают лучшими характеристиками, чем двухслойные, но они имеют ограниченное применение по диапазонам измеряемого давления.
keywords Датчик давления, тензопреобразователь давления, структура кремний−на−сапфире
Language of full-text russian
Full content Buy
Back