В середине прошлого века производимое оборудование можно было условно разделить на две группы — растровые электронные микроскопы и микроанализаторы, отличающиеся своими техническими характеристиками и предназначенные для решения разных задач. Соответственно и два метода — электронная микроскопия и микроанализ, несмотря на общие физические корни, развивались параллельно. В период 1970–1980-х гг. произошли два серьезных изменения — во-первых, появились автоматизированные приборы, использующие для обработки результатов специальное программное обеспечение, дифференцированное для разных областей исследования. Во-вторых, в связи с повышением качества полупроводниковых детекторов классические микроанализаторы начали вытесняться комплексами микроскоп плюс система микроанализа, широко используемыми и сегодня. В статье в краткой форме рассмотрены теоретические основы методов растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Описаны этапы использования оборудования, применяемого в институте «Гипроникель» с 1969 г., рассмотрены особенности исследований с применением детекторов с дисперсией по длине волны и с дисперсией по энергии. Приведены примеры выполненных методических разработок при адаптации конкретных типов оборудования для решения теоретических и практических задач цветной металлургии.


