Журналы →
Материалы электронной техники →
2010 →
№1 →
Назад
Назад
| НАНОМАТЕРИАЛЫ И НАНОТЕХНОЛОГИЯ | |
| Название | Структура поверхности нанокомпозитов на основе кремний–углеродной матрицы, выявленная методами сканирующей зондовой микроскопии |
| Автор | М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Д. С. Поляков, М. Л. Шупегин |
| Информация об авторе | Ю. Н. Пархоменко, доктор физ.-мат. наук, профессор, зав. кафедрой материаловедения полупроводников и диэлектриков, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», 119049, г. Москва, Ленинский пр-т, д. 4; директор ОАО «Гиредмет», 119017, г. Москва, Б. Толмачевский пер., д. 5; М. Д. Малинкович, кандидат физ.-мат. наук, доцент, e-mail: malinkovich@yandex.ru, Д. С. Поляков, инженер, М. Л. Шупегин, кандидат техн. наук, доцент, (ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», 119049, г. Москва, Ленинский пр-т, д. 4). |
| Реферат | Методами сканирующей зондовой микроскопии исследована поверхность аморфных пленок с кремний-углеродной матрицей, содержащих частицы платины нанометровых размеров. Показано, что поверхность пленок, изображение которой получено методом атомно-силовой микроскопии, имеет случайные шероховатости со средним размером менее 1 нм, в то время как образ поверхности, полученный с помощью сканирующей туннельной микроскопии, представляет собой плотно расположенные полусферические образования диаметром в несколько десятков нанометров и высотой несколько нанометров. Сделано предположение о том, что частицы платины распределяются упорядоченно в процессе синтеза пленок. |
| Ключевые слова | Кремний- углеродная матрица, АСМ- изображение, СТМ-образ, частицы нанометровых размеров. |
| Библиографический список | 1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура
и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-
углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко,
Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин. // Изв. вузов. Материалы электрон.
техники. - 2005. - № 3. - С. 12—16. 2. Борун, А. Ф. Электрическая прочность аморфных кремний- углеродных пленок, полученных осаждением из высокочастотной плазмы паров полифенилметилсилоксана, в зависимости от рабочего напряжения осаждения толщины пленок и отжига / А. Ф. Борун, Е. А. Выговская, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, О. В. Торопова, М. Л. Шупегин. // Третья Всерос. конф. «Химия поверхности и нанотехнология» - Хилово, 2006. - С. 90. 3. Бублик, В. Т. Исследование структуры металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей / В. Т. Бублик, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Н. Ю. Табачкова, М. Л. Шупегин // VI Нац. конференция по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. - ИК РАН, 2007. - С. 349. 4. Пат. РФ № 2297471. Способ получения проводящих нанокомпозитных покрытий, содержащих металл в кремний- углеродной матрице / М. Л. Шупегин, Ю. Н. Пархоменко, М. Д. Малинкович, Г. Ф. Воробьева, А. П. Смирнов, 2007. 5. Попов, А. И. Анизотропия электропроводности нанокомпозитов с кремний?углеродной матрицей, содержащих нанофазу на основе вольфрама / А. И. Попов, Н. Д. Васильева, Г. Ф. Воробьева, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Н. А. Филипьев, М. Л. Шупегин // Материалы V Междунар. конф. «Аморфные и микрокристаллические полупроводники» - СПб., 2006. - С. 65. |
| Language of full-text | русский |
| Полный текст статьи | Получить |
