ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН»

Д. В. Рощупкин

Д. В. Иржак

Е. В. Емелин
Р. Р. Фахртдинов

ОАО «ФОМОС Материалс»

О. А. Бузанов

С. А. Сахаров

Представлены результаты исследования многокомпонентных пьезоэлектрических кристаллов группы лантангаллиевого силиката (лангасита). Изучены процессы синтеза и структура кристаллов. С использованием методов рентгеновской топографии и дифрактометрии исследованы акустические свойства кристаллов. Продемонстрирована возможность применения этих пьезоэлектрических кристаллов в высокотемпературных сенсорных устройствах на поверхностных акустических волнах.

Исследования по изучению физических свойств кристаллов группы лантангаллиевого силиката (лангасита) выполнены при финансовой поддержке Министерство образования и науки Российской Федерации (ГК 16.513.12.3027).

1. Da Cunda, M. P. Investigation on recent quartz−like materials for SAW applications / M. P. Da Cunda, S. A. Fagundes // IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control. − 1999. − V. 46. − P. 1583—1594.
2. Smythe, R. C. Langasite, langanite, and langatate bulk−wave Y−cut resonators / R. C. Smythe, R. C. Helmbold, G. E. Hague, K. A. Snow // Ibid. − 2000. − V. 47. − P. 355—361.
3. Fritze, H. Langasite for high−temperature bulk acoustic wave applications / H. Fritze, H. L. Tuller // Appl. Phys. Lett. − 2001. − V. 78. − P. 976—983.
4. Naumenko, N. Optimal cuts of langasite, La₃Ga₅SiO₁₄ for SAW devices / N. Naumenko // IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control. − 2001. − V. 48. − P. 530—538.
5. Roshchupkin, D. V. X−ray Bragg diffraction from langasite crystal modulated by surface acoustic wave / D. V. Roshchupkin, D. V. Irzhak, R. Tucoulou, O. A. Buzanov // J. Appl. Phys. − 2003. − V. 94. − P. 6692—6692.
6. Roshchupkin, D. V. X−ray topography analysis of acoustic wave fields in the SAW−resonators structures / D. V. Roshchupkin, H. D. Roshchupkina, D. V. Irzhak // IEEE Transaction on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. − 2005. − V. 52. − P. 2081—2087.
7. Roshchupkin, D. Diffraction of a focused x−ray beam from La₃Ga₅SiO₁₄ crystal modulated by surface acoustic waves / D. Roshchupkin, D. Irzhak, A. Snigirev, I. Snigireva, L. Ortega, A. Sergeev // J. Appl. Phys. − 2011. − V. 110. − P. 124902(7).
8. Roshchupkin, D. V. X−ray diffraction analysis of the surface acoustic wave propagation in langatate crystal / D. V. Roshchupkin, A. I. Erko, L. Ortega, D. V. Irzhak // J. Appl. Phys. A. − 2009. − V. 94. − P. 477—485.
9. Roshchupkin, D. V. Investigation of structural perfection and acoustic properties of La₃Ga₅SiO₁₄ crystals by high resolution x−ray diffraction, topography, and microfluorescence analysis / D. V. Roshchupkin, D. V. Irzhak, E. D. Roshchupkina, O. A. Buzanov // Crystallography Rep. − 2004. − V. 49. − P. S80—S88.
10. Sakharov, S. High−temperature sensor based on SAW−modulated langasite crystal / S. Sakharov, D. Roshchupkin, E. Emelin, D. Irzhak, O. Buzanov, A. Zabelin // Proc. Eng. − 2011. − V. 25. − P. 1020—1023.