Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

В. Я. Подвигалкин, Н. М. Ушаков

Саратовский государственный технический университет

П. А. Музалев, И. Д. Кособудский

Рассмотрены особенности жидкофазного нанесения покрытий в виде толстых пленок на основе полимерных композитных наносред на поверхности твердотельных подложек. На основании идеи «скейлинга» (масштабирования) в физике полимеров приведены основные механизмы взаимодействия полимерных нанокомпозитных растворов с поверхностью подложки. Представлены результаты эксперимента и даны практические рекомендации для успешного проведения технологических операций по нанесению различных композитных жидких покрытий на твердотельные подложки.

Работа проведена благодаря финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (грант № 2.1.1/575) и РФФИ (грант № 11−08−00351).

1. Топфер, М. Микроэлектроника толстых пленок / М. Топфер. − М. : Мир, 1973. − 350 с.
2. Хаммер, Д. Технология толстопленочных гибридных интегральных схем / Д. Хаммер, Д. Ж. Биггерс. − М. : Мир, 1975. − 363 с.
3. Гадомский, О. Н. Эффект оптического просветления нанокристаллического монослоя и границы раздела двух сред / О. Н. Гадомский, А. С. Шалин // ЖЭТФ. − 2007. − Т. 132, № 4(10). − С. 870—884.

4. Гадомский, О. Н. Идеальное оптическое просветление композитных пленок, активированных сферическими наночастицами / О. Н. Гадомский, К. К. Алтунин, Н. М. Ушаков // Письма в ЖЭТФ. − 2009. − Т. 90, вып. 4. − С. 273—278.
5. де Жен, П. Идеи скейлинга в физике полимеров / П. де Жен. − М. : Мир, 1982. − 368 с
6. Flory, P. Principles of polymer chemistry / P. Flory − Ithaca (N. Y.) : Cornell Univ. Press., 1971. − Ch. XII.
7. Лабораторные работы и задачи по коллоидной химии / Под ред. Ю. Г. Фролова, А. С. Гродского. − М. : Химия, 1986. − 216 с.