Исследована спектральная зависимость коэффициента поглощения в диапазоне длин волн от 190 нм до 1,9 мкм нелегированных кремний−углеродных пленок, синтезированных из кремний−органической жидкости полифенилметилсилоксана (ПФМС) методом высокачастотного осаждения из плазмы паров ПФМС. Показано, что коротковолновая область поглощения пленок не является монотонной: в ней присутствуют электронные переходы разного вида, включая, вероятно, межзонные.
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (г.к. 16.552.11.7009). Исследования проводили на оборудовании центра коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» НИТУ «МИСиС».
1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний−углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2005. − № 3. − С. 12—16.
2. Васильева, Н. Д. Кластерообразование в металлосодержащих алмазоподобных нанокомпозитах системы [Cx(SiO)y]H / Н. Д. Васильева, В. Н. Воронцов, А. И. Попов, М. Л. Шупегин // IV Междунар. конф. «Аморфные и нанокристаллические полупроводники». − Санкт−Петербург, 2004.
3. Белогорохов, А. И. Исследование молекулярной структуры матрицы алмазоподобных кремний−углеродных нанокомпозитов / А. И. Белогорохов, А. М. Додонов, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, А. П. Смирнов, М. Л. Шупегин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2007. − № 1. − С. 69—71.
4. Nespurek, S. From one−dimensional organosilicon structures to polymeric semiconductors: optical and electrical properties / S. Nespurek // J. Non−Crystal. Solids. − 2002. − V. 299—302. − P. 1033—1041.