Рассмотрена потенциальная возможность модификации поверхности материалов обработкой в плазме низкотемпературного объемного разряда. Обсуждены физические, химические, технологические и экологические проблемы. Приведены особенности формирования газоразрядного промежутка и его характеристики. Описаны возможные механизмы воздействия низкотемпературной газоразрядной плазмы на структуру материала (поверхность и размер).

1. Райзер Ю. П. Физика газового разряда. — М. : Наука, 1987. — 592 с.
2. Велихов Е. П., Ковалев А. С., Рахимов А. Т. Физические явления в газоразрядной плазме. — М. : Наука, 1987. — 160 с.
3. Самойлович В. Г., Гибалов В. И., Козлов К. В. Физическая химия барьерного разряда. — М. : Изд-во МГУ, 1989. — 176 с.
4. Мнацаканян А. Х., Найдис Г. В., Солозобов Ю. М. // Теплофизика высоких температур. 1986. Т. 24, № 26. С. 1060–1066.
5. Senichi Masuda // Pure & Appl. Chem. 1988. Vol. 60, N 5. P. 727–731.
6. Смирнов Б. М. Отрицательные ионы. — М. : Атомиздат, 1978. — 176 с.
7. Микроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах / под ред. И. Н. Волженина. — М. : Радио и связь, 1985. — 83 с.
8. Гимпельсон В. Д., Родионов Ю. А. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники. — М., 1976. — 126 с.
9. Пщелко Н. С. // Цветные металлы. 2005. № 9. С. 44–50. (Спец. темат. вып. «Наноструктурированные металлы и материалы»).