В. А. Гаврилов, П. М. Гаврилов, П. П. Турчин

В. А. Гаврилов, кандидат техн. наук, советник генерального директора, e-mail: vic@mcc.krasnoyarsk.su, П. М. Гаврилов, доктор техн. наук, генеральный директор, (ФГУП «Горно-химический комбинат», Россия, 662972, Красноярский край, г. Железногорск , ул. Ленина, д. 53); П. П. Турчин, кандидат физ.-мат. наук, доцент, ФГОУ ВПО «Сибирский федеральный университет», 660041, г. Красноярск, пр-т Свободный, д. 79, тел.: 8-(391)-244-41-32.

Представлены результаты исследования изменений температуры кремниевых стержней в зависимости от особенностей подачи в Сименс-реактор хлорсиланов (трихлорсилана SiHCl₃) и водорода. Между изменениями подачи реагентов в реактор и температурой кремниевых стержней установлена определенная корреляция, которая не всегда может быть объяснена с позиций конвективного теплообмена. Выдвинуто предположение, что наблюдаемые отклонения температуры стержней связаны с изменением прозрачности газовой среды реактора в ближней ИК?области и соответствующим влиянием оптических характеристик среды реактора на теплообмен излучением между водоохлаждаемыми стенками реактора и кремниевыми стержнями.
На спектрах пропускания смеси SiНCl₃, HCl и SiO₂ в ИК-области обнаружена широкая полоса поглощения в диапазоне 2400— 3100 см^-1 (λ = 3,2.4,2 мкм), обусловленная наличием в составе парогазовой смеси хлористого водорода. Наличие этой полосы поглощения позволило объяснить особенности теплообмена при кратковременных изменениях подачи реагентов в установку водородного восстановления и сделать вывод о том, что теплообмен в Сименс-реакторе при кратковременных изменениях параметров подачи парогазовой смеси обусловлен в основном теплообменом излучением.

Кремний, Сименс-процесс, водородное восстановление, хлориды, водород, теплообмен конвективный, теплообмен излучением, спектры пропускания, инфракрасная область.

1. Елютин, А. В. Тепловая модель реактора для получения поликремния водородным восстановлением SiHCI₃ / А. В. Елютин, Л. С. Иванов, Р. В. Иванов, В. В. Митин, Д. В. Назаркин, В. В. Нечаев // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2006. - № 3. - С. 25—28.
2. Бровин, Д. С. Аспекты выбора высоты реактора для восстановления кремния по Siemens технологии / Д. С. Бровин, А. А. Ловцюс, М. Э. Рудинский // V Междунар. конф. «Кремний-2008». Тез. докл. - Черноголовка, 2008. - С. 85.
3. Фалькевич, Э. С. Технология полупроводникового крем ния / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червонный, Л. Я. Шварцман, В. Н. Яркин, И. В. Салли - М. : Металлургия, 1992. - 408 с.
4. Molecular Absorption Spectra // http://www.coe.ou.edu/ sserg/web/Results/results.htm.

русский