ФГАОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»

И. М. Анфимов, С. П. Кобелева, М. Д. Малинкович, И. В. Щемеров, О. В. Торопова, Ю. Н. Пархоменко

Изучены температурные зависимости удельной электропроводности (УЭС) кремний−углеродных пленок с наноразмерными включениями вольфрама. Контактным методом измерена электропроводность образцов в интервале температур 20—200 °С. Показано, что у пленок с УЭС 0,03—15 Ом · см при комнатной температуре электропроводность растет с повышением температуры и имеет две компоненты — термоактивационную и постоянную, предположительно туннельного характера. Доля туннельной компоненты возрастает от 40 до 80 % с увеличением содержания вольфрама в пленке, энергия активации при этом падает от 0,1 до 0,06 эВ.

Работа выполнена на оборудовании ЦКП «Материаловедение и металлургия» на базе НИТУ «МИСиС».

1. Abeles, B. Structural and electrical properties of granular metal films / B. Abeles, Ping Sheng, M. D. Coutts, Y. Arie // Adv. Phys. − 1975. − V. 24. − P. 407—461.
2. Гантмахер, В. Ф. Электроны в неупорядоченных средах / В. Ф. Гантмахер. − М. : Физматлит, 2005.
3. Пархоменко, Ю. Н. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний−углеродной матрицей / Ю. Н. Пархоменко, М. Д. Малинкович, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. − 2005. − № 3. − С. 12—16.
4. Малинкович, М. Д. Структура поверхности нанокомпозитов на основе кремний−углеродной матрицы, выявленная методами сканирующей зондовой микроскопии / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Д. С. Поляков, М. Л. Шупегин // Там же. − 2010. − № 3. − С. 41—45.
5. Канаева, Е. С. Исследование поверхности кремний−углеродных пленок с нанометровыми включениями на основе хрома и тантала методами сканирующей зондовой микроскопии / Е. С. Канаева, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, М. Л. Шупегин // Там же. − 2011. − № 3. − С. 45—47.
6. Божко, А. Д. Электронный транспорт в пленках аморфных металл−углеродных нанокомпозитов / А. Д. Божко, Е. А. Катаева, Т. Такаги // Вестн. Московск. ун−та. Сер. 3: Физика. Астрономия. − 2007. − № 4. − С. 26—30.
7. Мотт, Д. Электронные процессы в некристаллических веществах / Д. Мотт, Н. Мотт, Э. М. Дэвис − М. : Мир, 1974. − 472 с.
8. Бублик, В. Т. Структура композитов с кремний−углеродной матрицей, содержащих нанофазу на основе металла / В. Т. Бублик, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Н. Ю. Табачкова, М. Л. Шупегин // XXII Росс. конф. по электрон. микроскопии (РКЭМ−2008). − Черноголовка, 2008. − С. 94.